走査型電子顕微鏡(SEM)

仕様 型式 日立S-430 分解能 60オングストローム 加速電圧 2-30KV 倍率 ×20〜×200,000 試料回転装置 試料サイズ：最大φ45mm Ｘ移動量　：±10mm Ｙ移動量　：±5mm 回転角　　：360°